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手套箱

手套箱简介

手套箱是将高纯惰性气体充入箱体内，并循环过滤掉其中的活性物质的实验室设备。也称真空手套箱、惰性气体保护箱等。主要功能在于对O2，H2O，有机气体的清除。

广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境，如：锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊、材料合成、OLED、MOCVD等。也包括生物方面应用，如细胞低氧培养等。

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手套箱功能

1、密闭循环：真空手套箱和气体净化系统构成一个密闭的循环系统，由气体净化系统提供气体循环动力。

2、人机对话：配置彩色触摸屏，中文界面，实现人机对话，操作便捷

3、自动控制（由彩色触摸屏的人机界面和PLC程序控制系统集成对系统进行控制）

实现功能：手/自动控制箱体压力；

手/自动控制气体净化系统的净化状态；

自动控制气体净化系统的还原过程；

手/自动净化系统还原、净化及转换净化柱（配置双净化柱时）；

自动箱体气氛报警；

箱体内气氛和压力参数设置和手/自动转换；

气体净化系统自动控制功能的参数设置；

查阅系统历史纪录；

气体净化系统执行机构工况检测；

程序控制系统的操作错误和警告提示

真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；如果手套有破损或漏气现象请及时更换，如果手套或手套孔有松动或安装不牢固，请重新安装牢固。在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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